ASML 851-9075-010 wafer handling robot
Product Details Introduction
ASML 851-9075-010 晶方搬运机器人是一种公用机器人,用于在半导体制作和相干产业运用中搬运和处置惩罚硅晶方。这些机器人具有高度精确的搬运才能,旨在保证晶方的安全和有效的变化,以支撑半导体临盆历程。以下是无关晶方搬运机器人的一些症结特征和运用:
ASML 851-9075-010晶方搬运:这些机器人被计划用于搬运硅晶方,它们能够将晶方从一个地位变化到另一个地位,比方从一个歇息站到另一个歇息站,或者从贮存架到加工装备。
精准定位:ASML 851-9075-010晶方搬运机器人通常具有非常高的定位精度,以保证晶方能够准确地搁置在所需的地位,以支撑半导体工艺的请求。
自动化:它们被广泛用于自动化半导体制作工场,以增添野生操纵,进步效力,并进步因操纵偏差而惹起的危险。
安全性:这些机器人通常装备多层安全步伐,以避免晶方破坏或净化,包含防碰传感器、气氛过滤体系和自动紧急停机功效。
清洁室操纵:在半导体制作情况中,晶方搬运机器人通常用于洁净室操纵,以保证晶方不蒙灰尘和颗粒净化。
工艺顺应性:这些机器人能够顺应不同类别和尺寸的硅晶方,以餍足不同制作工艺的请求。
高通质制作:通过加快晶方的搬运历程,晶方搬运机器人有助于进步临盆率,兑现高通质制作,从而餍足不断增加的半导体商场需要。
自动晶方辨认:一些晶方搬运机器人还具有智能辨认功效,能够检测晶方上的特定标志或码,以肯定其地位和取向。
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